株式会社電子技研

WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置

最終更新日: 2017-04-19 17:30:08.0

  • カタログ

基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。

WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置は、基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。

【特徴】
○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上
○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理
○基板傾斜水洗機能による自然落下、置換の高効率化

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】
○基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、
 超音波洗浄、乾燥処理を行なう

【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報 お問い合わせください。
納期 お問い合わせください
※ お問い合わせください。
用途/実績例 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連ダウンロード

WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  [必須]
ご要望  [必須]
目的  [必須]
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社電子技研

ページの先頭へ