半導体・液晶プロセスなどにおける各種流体コントロール。 脱気モジュールをはじめ、テフロン製品など幅広い製品群を提供しています。
電装産業株式会社では、半導体・液晶プロセスなどにおける
液体・気体などの流体をコントロールする製品を多数取り扱っています。
液体プロセス中の溶存気体を除去する「脱気モジュール」をはじめ、
耐薬品性やクリーン度を要求するラインの様々な液体をコントロールする
「ファインケミカルレギュレータ」や「プラグバルブ」などのテフロン製品
など、幅広いラインアップを提供しています。
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ（一部）】
■テフロン製品
・ファインケミカルレギュレータ
・プラグバルブ
・プレッシャーセンサー＆プレッシャースイッチ
・カルマン流量計
■脱気モジュール
■ひずみゲージを応用した計量計測
・圧力計
・ロードセル
・超薄型ロードセル式台はかり
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■テフロン製品
・ファインケミカルレギュレータ
・プラグバルブ
・プレッシャーセンサー＆プレッシャースイッチ
・カルマン流量計
■脱気モジュール
■ひずみゲージを応用した計量計測
・圧力計
・ロードセル
・超薄型ロードセル式台はかり
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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