電装産業株式会社

【純水や薬液に好適】高精度な超音波流量計『HLF800シリーズ』

最終更新日: 2022-09-05 15:22:31.0

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DSP搭載により、高精度で安定した計測を実現!表示部にはVFD表示を採用

『HLF800シリーズ』は、DSP(Digital Signal Processor)を搭載し、
独自の信号演算処理により、安定した計測を実現する超音波流量計です。

1台の変換器で、異なるサイズの検出器を2台接続可能。複数箇所の流量測定を
行う装置では省スペースで、コストパフォーマンスに優れています。

またRS485通信を標準装備しており、管理ソフトの利用でパラメータ設定と
計測データの読み出しがPC上で行え、遠隔での流量監視が可能です。

【特長】
■2チャンネルの採用により、省スペース・低価格を実現
■検出器とケーブルが着脱可能で、配線作業が容易
■流路内に駆動部分が無いため、圧力損失が少ない
■EMC規格(EN61326-1)に適合、RoHSに対応
■表示付き(HLF820)、表示無し(HLF810)の選択が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■ケーブルの長さは5mまたは7mから選択可能
■ディスプレイにVFD(蛍光表示管)を採用し、視認性に優れている(HLF820のみ)
■接液部は全てNEW PFA(高耐腐食性)を採用し、純水・薬液などの計測に好適

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【主要用途・使用例】
■半導体プロセスの純水・超純水の流量測定
■腐蝕性の高い薬液塗布などの各種薬液処理プロセスの流量管理
■CMP(Chemical Mechanical polishing)スラリー液の流量測定

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