
○P515501 P515502
・適用フィルタシステム:リソガード-12
・概略寸法(幅×高さ×奥行き):555 x 430 x 188 mm
・設定風量 :433 ㎥/hr
・最大圧力損失 :265 Pa
・概算重量:20kg
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2019/10/25
高純度の空気環境が必要とされる工程での圧縮空気のろ過に最適です!
「リソガードPOU(Point-Of-Use/ 局所)フィルタ」 は、塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質除去用の配管接続タイプのケミカルフィルタです。
物理および化学吸着により通過気体中の酸性・塩基性・有機ガスを捕集します。半導体製造・各種開発実験/ 評価試験といった、より高純度のCDA(クリーンドライエア)、不活性ガス、圧縮空気の供給が必要とされる半導体製造・各種開発実験/ 評価試験、レーザー加工機・光学系機器の保護といったプロセスでのご使用に最適です。
【主な特長】
■圧縮空気、CDA、N2、その他不活性ガス内の汚染物質除去用として使用可能
■フィルタ本体ケースにはステンレススチール(SUS304)を使用
■物理および化学吸着により通過気体中の酸性・塩基性・有機ガスを捕集
■ガス状の汚染物質除去と併せて、高いパーティクル除去機能有り
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日本ドナルドソン株式会社