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ケミカルフィルタシステム　リソガード12

最終更新日: 2016-05-19 10:49:59.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日：2016/4/5
ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステム
「リソガード12」は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムです。
キャビネット内にLPSフィルタまたはBSMmaxフィルタ１２枚とHEPAフィルタ６枚を搭載しています。
低濃度環境下においても高い汚染物質除去性能を発揮するため、調清浄環境が要求されるプロセスの実現や光学系部品の汚染による性能低下の防止にも最適です。

【特長】
○長寿命（LPSまたはBSMmaxフィルタ搭載）
○省スペース
○低コスト（Refillプログラムによるフィルターの再生利用）

その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

関連情報

ケミカルフィルタシステム「リソガード12」
ケミカルフィルタシステム「リソガード12」 製品画像
【仕様】
○システム品番：KAX007890
○ケミカルフィルタ品番：P512612
○設定風量：2,600m3/hr
○寸法：幅850mm×高さ1,850mm×奥行1,200mm
○概算重量（フィルタ込）：600kg
○操作用電源：不要
○気密用圧縮空気：不要

その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。
ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」
ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」 製品画像
【仕様】
○P515501　P515502
・適用フィルタシステム：リソガード-12
・概略寸法（幅×高さ×奥行き）：555 x 430 x 188 mm
・設定風量 ：433 ㎥/hr
・最大圧力損失 ：265 Pa
・概算重量：20kg

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
インラインケミカルフィルタ「リソガードPOUフィルタ」
インラインケミカルフィルタ「リソガードPOUフィルタ」 製品画像
【仕様】
○供給エア： 圧縮空気、ＣＤＡ（クリーンドライエア）、Ｎ２、その他不活性ガス
○捕集対象： 酸性・塩基性・有機ガス
○捕集方式： 物理および化学吸着
○フィルター本体ケース材質： ステンレススチール（SUS304）
○最大使用圧力： 150psi/10bar

●詳しくはダウンロードカタログをご覧いただくか、お問い合わせください。
ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」
ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」 製品画像
【ラインアップ】
○P512612
・適用フィルタシステム：リソガード-12
・概略寸法（幅×高さ×奥行き）：555 x 430 x 188 mm
・設定風量 ※：433 ㎥/hr
・最大圧力損失 ※：265 Pa
・概算重量：20kg
○P510610
・適用フィルタシステム：リソガード-2.5.7HIGH
・概略寸法（幅×高さ×奥行き）：630 x 335 x 155 mm
・設定風量 ※：355 ㎥/hr
・最大圧力損失 ※：300 Pa
・概算重量：16kg
（※リソガードBSMmaxフィルタ1個あたりの数値）

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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