上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2016/4/5
さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、更なる長寿命化を実現したケミカルフィルタ
「リソガードLPSフィルタ」は、現在もクラス最高レベルにある「リソガードBSMmaxフィルタ」の除去性能を強化し、更なる長寿命化を実現したキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。
さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超洗浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。
【特長】
■さまざまな汚染物質の除去に使用可能
・酸性ガス（SO2、HCl、HBr）
・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン）
・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS）
■リソガードBSMmaxフィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現
■リソガードBSMmaxフィルタからの置き換え可能
■Refill プログラムにより、フィルタの再利用が可能
■グローバルな販売・サービス体制
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日本ドナルドソン株式会社
