日本ドナルドソン株式会社

ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」

最終更新日: 2016-11-17 14:17:46.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2016/4/5
さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、更なる長寿命化を実現したケミカルフィルタ
「リソガードLPSフィルタ」は、現在もクラス最高レベルにある「リソガードBSMmaxフィルタ」の除去性能を強化し、更なる長寿命化を実現したキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。

さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超洗浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。

【特長】
■さまざまな汚染物質の除去に使用可能
・酸性ガス(SO2、HCl、HBr)
・塩基性ガス(NH3、NMP、アミン)
・凝縮性有機ガス(HMDSO、TMS)
■リソガードBSMmaxフィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現
■リソガードBSMmaxフィルタからの置き換え可能
■Refill プログラムにより、フィルタの再利用が可能
■グローバルな販売・サービス体制

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連情報

ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」
ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」 製品画像
【仕様】
○P515501 P515502
・適用フィルタシステム:リソガード-12
・概略寸法(幅×高さ×奥行き):555 x 430 x 188 mm
・設定風量 :433 ㎥/hr
・最大圧力損失 :265 Pa
・概算重量:20kg

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ケミカルフィルタシステム「リソガード12」
ケミカルフィルタシステム「リソガード12」 製品画像
【仕様】
○システム品番:KAX007890
○ケミカルフィルタ品番:P512612
○設定風量:2,600m3/hr
○寸法:幅850mm×高さ1,850mm×奥行1,200mm
○概算重量(フィルタ込):600kg
○操作用電源:不要
○気密用圧縮空気:不要

その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。
インラインケミカルフィルタ「リソガードPOUフィルタ」
インラインケミカルフィルタ「リソガードPOUフィルタ」 製品画像
【仕様】
○供給エア: 圧縮空気、CDA(クリーンドライエア)、N2、その他不活性ガス
○捕集対象: 酸性・塩基性・有機ガス
○捕集方式: 物理および化学吸着
○フィルター本体ケース材質: ステンレススチール(SUS304)
○最大使用圧力: 150psi/10bar

●詳しくはダウンロードカタログをご覧いただくか、お問い合わせください。
ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」
ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」 製品画像
【ラインアップ】
○P512612
・適用フィルタシステム:リソガード-12
・概略寸法(幅×高さ×奥行き):555 x 430 x 188 mm
・設定風量 ※:433 ㎥/hr
・最大圧力損失 ※:265 Pa
・概算重量:20kg
○P510610
・適用フィルタシステム:リソガード-2.5.7HIGH
・概略寸法(幅×高さ×奥行き):630 x 335 x 155 mm
・設定風量 ※:355 ㎥/hr
・最大圧力損失 ※:300 Pa
・概算重量:16kg
(※リソガードBSMmaxフィルタ1個あたりの数値)

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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