米国の半導体材料専門の調査会社が、CVD、ALD、SODアプリケーションに対応する有機・無機プリカーサの市場と技術動向を調査!
本レポートは、CVD/ALD誘電体およびSODプリカーサの市場および技術動向に関する情報を提供します。
過去20年間、半導体産業向けのALDおよびCVDプリカーサに関する多くの研究論文や特許が発表されています。レポートでは、新しいプリカーサの開発パスとロードマップ、およびこれらの材料が大量生産(HVM)に参入するための現在のEHSと規制のハードルについて詳述します。あらゆるタイプのプリカーサについて、犠牲層、低κ誘電体、ハードマスク、マンドレル、エッチングストップ層など、最先端の前工程の絶縁・導電材料に焦点を当てた予測を提供しています。
■レポート詳細
https://www.dri.co.jp/auto/report/techcet/techcdep.html
■半導体市場調査会社Techcetについて
https://www.dri.co.jp/auto/report/techcet/index.html
■出版年月:2023年6月
■ページ数:133
■図表数:87
■言語:英語
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