最終更新日:
2024-12-09 16:36:31.0
高品位研磨テープによる低Raの実現
Siウェーハ、化合物ウェーハのベベル、ノッチ、オリフラに対応したフルスペックのテープ式精密研磨装置です。
基本情報
【特徴】
●様々なプロセスに対応
●膜質を選ばない研磨が可能
●スラリー負荷の軽減
●100%ケミカルフリー
●クラス1000対応
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型番・ブランド名 | NME-8N |
用途/実績例 | 半導体ウェーハの研磨 |
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