アイエムティー株式会社

半導体ウェーハ研磨機 ノッチ、ベベル、オリフラ研磨装置【日本製】

最終更新日: 2022-03-02 16:29:36.0
高品位研磨テープによる低Raの実現

Siウェーハ、化合物ウェーハのベベル、ノッチ、オリフラに対応したフルスペックのテープ式精密研磨装置です。

基本情報

【特徴】
●様々なプロセスに対応
●膜質を選ばない研磨が可能
●スラリー負荷の軽減
●100%ケミカルフリー
●クラス1000対応

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価格情報 ******
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型番・ブランド名 NME-8N
用途/実績例 半導体ウェーハの研磨

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