最終更新日:
2022-03-02 16:33:50.0
省スペース＆ハイスループットをコンセプトに開発された新しいシリコンウェーハ端面研磨装置です
●ウェハーを選ばず高スループット研磨が可能
●加工面精度を向上
●ケミカルフリーの研磨が可能
●各種膜の除去が可能
●ウェハー製造の各工程へ導入が可能
基本情報
ウェハー製造工程において、スループット向上面精度UPを可能にしたシリコンウェーハエッジポリッシャーは、世界的に導入されています。
6インチ、8インチ、12インチウェハー対応のシリコンウェーハエッジポリッシャーは精密研磨テープを使用し、弊社の特許技術により常に新しい砥粒面で研磨できることで安定したの研磨力が得られます。
| 価格情報 | ****** お気軽にお問い合わせください |
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| 型番・ブランド名 | TUNeDGE |
| 用途／実績例 | シリコンウェハーエッジポリッシャーは様々な用途に活用できます。 シリコンウェハーの各製造工程（べべリング後、エッチング後、CVD膜除去）に活用されています。また、リクレイム用途や各種メタル膜の除去にも有効です。 |
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