最終更新日:
2024-12-09 16:35:53.0
刮目せよ 「Cyber」と「T-Rex」の融合 各ステージ同時研磨により高いスループットを実現
『Cyrex』は、砥石1ステージ＋研磨、琢磨ステージ、砥石には自動ドレス機構、研削量調整機構を標準装備している全自動研磨機です。
各ステージ同時研磨により高いスループットを実現します。
各ステージに洗浄槽、乾燥槽を標準装備しているため、前工程の異物を持ち込みません。
様々なカスタマイズに柔軟に対応できます。
【特長】
○設計の自由度が高いPLC制御を採用
○各工程にヘッドが搭載で生産性が大幅にアップ
〇ホルダストックもコンベア式or積み上げ式で選択可能
○3~6連式にて選択可能な大型研磨機
○大量の試料ホルダーのストックが可能
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【本体仕様】
○電源：三相200-220V 50/60Hz
○エアー：0.5～0.7MPa（フィルター、レギュレター付）
○水：0.2～0.4MPa 20L/min以下
○砥石回転速度：800～1700rpm（可変）
○砥石径：φ355mm
○研磨テーブル径：φ310mm ※最大φ350mmまで対応可
○研磨テーブル回転速：60～350rpm（1rpm単位で可変）
○試料ホルダー径：φ160～200mm ※特殊形状のホルダーにも対応可
○試料ホルダー回転速度：60～200rpm（1rpm単位で可変）
○加圧力：60～600N（1N単位で可変）
○研磨条件メモリー数：28通り（PLC制御）
○装置外寸/重量：W6325×D1545×H1900mm, 約5000kg (6連式)
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○顕微鏡での試料観察用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
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