テスト印刷可能!ポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で行えます
『MT-80SP』は、各種ウエハサイズに対応した、カセットtoカセットタイプの
全自動ウエハ向けスクリーン印刷機です。
ローダ部にカセット(各規格対応)を積載。水平搬送ロボットアームにより
自動で取り出し、プレアライメント(ノッチ検出)を経て印刷を行い、
再びカセットに収納します。
半田バンプやポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で
行えます。オプションでFFUの設置も可能です。
【特長】
■テスト印刷可能
■各種ウエハサイズに対応
■ローダ部にカセット(各規格対応)を積載
■印刷を、高精度かつ全自動で行う
■オプションでFFUの設置も可能
※テスト印刷可能です!お気軽にお問い合わせください。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【基本仕様】
■印刷寸法:8インチウエハ、6インチウエハ
■版枠寸法:550 mm x 650 mm 外寸
■印刷機部 画像認識(二値化/パターンマッチング)
:位置合わせ方式 位置合わせ精度 ±10μm
■スクリーンサイズ:550 mm × 650 mm
■スキージ印圧制御:垂直フロート型エアバランス方式
■スキージ駆動:ULVD(超低振動駆動)方式(PAT.P)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■印刷寸法:8インチウエハ、6インチウエハ
■版枠寸法:550 mm x 650 mm 外寸
■印刷機部 画像認識(二値化/パターンマッチング)
:位置合わせ方式 位置合わせ精度 ±10μm
■スクリーンサイズ:550 mm × 650 mm
■スキージ印圧制御:垂直フロート型エアバランス方式
■スキージ駆動:ULVD(超低振動駆動)方式(PAT.P)
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 |
【用途】 ■電子部品 ■太陽電池 ■タッチパネル ■フィルム ■デバイス ■自動車部品 ■燃料電池 ■半導体 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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