空気・ガス類の一般流体制御用に設計された小形タイプの直動形2方向比例制御電磁弁です。非常にコンパクトで高精度、長寿命。
標準的なON/OFF電磁弁とは違い、0〜100%の間で自由に流量調節が可能なため、比例制御のために複数使用中の電磁弁をこれ一台で置き換え可能です。
温度センサや流量センサからのフィードバックでクローズドループ制御も可能です（オプションのコントローラ使用時）。
[仕様]
制御流体：空気・ガス
配管口径：M5、G1/8
Cv値：0.0003〜0.11
ヒステリシス：<3%
再現性：<1%
感度：<1%
■1NL/minレベルの微小流量制御が可能。
■オープンループでヒステリシス3%以下、再現性・感度1%以下の高精度。
■真空制御にも対応可能（オプション）。
■コンパクトで長寿命。
詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご確認ください。
標準的なON/OFF電磁弁とは違い、0〜100%の間で自由に流量調節が可能なため、比例制御のために複数使用中の電磁弁をこれ一台で置き換え可能です。
温度センサや流量センサからのフィードバックでクローズドループ制御も可能です（オプションのコントローラ使用時）。
[仕様]
制御流体：空気・ガス
配管口径：M5、G1/8
Cv値：0.0003〜0.11
ヒステリシス：<3%
再現性：<1%
感度：<1%
■1NL/minレベルの微小流量制御が可能。
■オープンループでヒステリシス3%以下、再現性・感度1%以下の高精度。
■真空制御にも対応可能（オプション）。
■コンパクトで長寿命。
詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご確認ください。
