日本インテグリスは、最先端の製造工場の歩留まり向上に貢献するソリューションを提供します。
日本インテグリスは、半導体およびその他のハイテク産業向けのコンタミネーションコントロール、半導体材料のハンドリング、先端プロセス用材料におけるマーケットリーダーです。
事業内容液体・ガスの精密ろ過/精製製品:フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。
ガスシリンダー製品:イオン注入プロセス用ガスシリンダー。
液体の移送製品:バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。
液体の制御/管理製品:ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。
デバイスの保護/搬送関連製品:ウェーハ/ディスクシッパー、ウェーハ/ディスクキャリア、ウェーハ/レチクルポッド、チップトレー。
特殊材料関連製品:高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング(イットリア、アルミナ等)、 PECVDコーティング(シリコン、SiC、DLC等)。
表面処理材料・部材関連製品:CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。
先端成膜材料製品:各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム
上記製品の開発、販売、サービス。
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