最終更新日:
2024-01-29 17:45:41.0
多彩な動作を実現する位置決めモジュール!2000クラスの大型ステージも対応
『AM』は、精密位置決めテーブルTUをベースに、高剛性形クロスローラ
ベアリングとリニアウェイを組み合わせ、アライメントステージ用に
開発された位置決めモジュールです。
高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理。
各アライメントモジュールAMの高さ調整することなく、
アライメントステージが構成できます。
【特長】
■多彩な動作を実現
■高さ調整が不要
■用途に合わせたステージを自由に設計可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【バリエーション】
■AM25
■AM40
■AM60
■AM86
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