藤川伝導機株式会社

ステッピングモーター 真空タイプ

最終更新日: 2024-08-19 13:29:45.0
真空中の動力源!装置の小型化・コストダウンに貢献

当社で取り扱う「ステッピングモーター 真空タイプ」をご紹介いたします。

半導体製造装置のスパッタリングや、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、
さまざまな用途に多数採用されており、多軸ステージの設計も可能。

真空チャンバー内にモーターを設置できるため、回転導入機などを使用せず、
装置を小型化できます。

【特長】
■さまざまな動きを実現
■装置の小型化・コストダウンに貢献
■真空チャンバー内の汚染防止を考慮した設計

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報

【ラインアップ】
■αSTEP ARシリーズ
■5相ステッピングモーター PKシリーズ

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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