最終更新日:
2024-10-21 17:43:58.0
半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート!荷重移動時の位置を制御
『e-Stable』は、リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が
普及しているアクティブ除振台です。
倉敷化工が新たに開発した制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を
追求しました。
ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。
【特長】
■空圧制御タイプを大きく上回る制振性能を実現
■生産性を大幅に向上
■モーションフィードフォワード制御を搭載
■ステージ移動の情報を事前に入力することで、より的確な位置制御が可能
■高分解能な装置の性能を最大限に発揮
■エアをほとんど消費しない
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【ラインアップ】
■EST-L6HKP-200L
■EST-L6HKP-200M
■EST-L6HKP-200H
■EST-L8HKP-200
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