最終更新日:
2021-07-27 15:47:01.0
様々な現場で使われるフォトマスク。お客様のニーズに合わせた好適な製品を提供します
日本フイルコンでは、現在使用される凡そ全てのマスクサイズに
対応しております。
タテ・ヨコのラインをベースにした場合で、最小0.5µmの
ライン＆スペースまで対応可能。
実際には、マスクサイズ等により解像可能な線幅が異なりますので、
デザイン確認後、可否を回答させて頂いております。
ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。
【特長】
■現在使用される凡そ全てのマスクサイズに対応
■ガラスを切り出すことで規格外の大きさへの切り出しも可能
■10" 以上のサイズも取り扱っており、最大813mm×813mmまで対応
■タテ・ヨコのラインをベースにした場合で、最小0.5µmのライン＆スペースまで対応
※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【フォトマスク仕様】
＜マスクタイプ：レチクル、ワーキング・マスク＞
■露光方法：レーザー描画
■最小線幅：0.5µm～
■線幅精度：±0.05µm～
■位置精度：±0.05µm～
■欠陥検査規格：0.5µm以上 0個～
※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
お問い合わせ
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