最終更新日:
2022-10-06 14:14:14.0
グリーンシートに印刷された電極パターン不良を3Dスキャンで高精度に検出します。
電極パターンの凹凸、厚み不良の他、パターンの太り、細り、シミ、異物不良を検出します。
またパターンの位置度検査が可能であり、グリーンシートの積層管理にご使用いただけます。
積層品質向上、歩留まり向上にぜひご検討ください。
【特長】
■パターン高さやパターンの凹凸検査（高精細3D検査）
■微細な欠陥やパターンの寸法検査（高精細2D検査）
■グリーンシート毎のパターン位置度管理
■積層デバイスの歩留り向上に貢献します
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】
■ハンドリング仕様
・手置きタイプ
・自動搬送タイプ
※前後工程に合わせてカスタマイズ可能
■対象ワーク
・積層セラミックス用グリーンシート
・シートサイズ：□100mm～□500mm程度
※シートサイズに応じてカスタマイズ可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【検査項目】 ＜欠陥検査＞ ■シート部 ・キズ、異物、スクラッチ、変色、汚れ、シミ ■パターン部 ・パターン上異物、パターン断線、パターンショート ＜寸法検査＞ ■パターン高さ・断面積（3D検査） ■パターン幅 ■パターン位置度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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