更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した
デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー
【特徴】
○高精度
流量精度±1%を実現
○高性能センサ
低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び
安定性の低いガスに最適構造を実現
○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止
高速応答ピエゾアクチュエータを採用
デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上
パーティクル発生 極少
○デジタルインターフェース標準装備 RS485
○RoHS対応
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー
【特徴】
○高精度
流量精度±1%を実現
○高性能センサ
低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び
安定性の低いガスに最適構造を実現
○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止
高速応答ピエゾアクチュエータを採用
デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上
パーティクル発生 極少
○デジタルインターフェース標準装備 RS485
○RoHS対応
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。