■半導体製造装置用 超小型IoTバルブ
超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、
超小型IGS（集積化ガス供給システム）にてIoT化を実現し、
正確な開閉検知が可能になりました。
・耐久性：400万回（実験値）
・使用温度：-10～＋80℃
※2022年 第19回超モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞 受賞製品！
■高耐久IoTバルブ
高耐久バルブにセンサを搭載することで、
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性：1億回（実験値）
・使用温度：-10～＋80℃
■高温・高耐久IoTバルブ
高耐久バルブに高温対応センサを搭載することで、高温条件下においても
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性：3,000万回（実験値）
・使用温度：-10～＋150℃
超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、
超小型IGS（集積化ガス供給システム）にてIoT化を実現し、
正確な開閉検知が可能になりました。
・耐久性：400万回（実験値）
・使用温度：-10～＋80℃
※2022年 第19回超モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞 受賞製品！
■高耐久IoTバルブ
高耐久バルブにセンサを搭載することで、
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性：1億回（実験値）
・使用温度：-10～＋80℃
■高温・高耐久IoTバルブ
高耐久バルブに高温対応センサを搭載することで、高温条件下においても
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性：3,000万回（実験値）
・使用温度：-10～＋150℃
