■半導体製造装置用 超小型IoTバルブ
超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、
超小型IGS(集積化ガス供給システム)にてIoT化を実現し、
正確な開閉検知が可能になりました。
・耐久性:400万回(実験値)
・使用温度:-10~+80℃
※2022年 第19回超モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞 受賞製品!
■高耐久IoTバルブ
高耐久バルブにセンサを搭載することで、
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性:1億回(実験値)
・使用温度:-10~+80℃
■高温・高耐久IoTバルブ
高耐久バルブに高温対応センサを搭載することで、高温条件下においても
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性:3,000万回(実験値)
・使用温度:-10~+150℃
超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、
超小型IGS(集積化ガス供給システム)にてIoT化を実現し、
正確な開閉検知が可能になりました。
・耐久性:400万回(実験値)
・使用温度:-10~+80℃
※2022年 第19回超モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞 受賞製品!
■高耐久IoTバルブ
高耐久バルブにセンサを搭載することで、
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性:1億回(実験値)
・使用温度:-10~+80℃
■高温・高耐久IoTバルブ
高耐久バルブに高温対応センサを搭載することで、高温条件下においても
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性:3,000万回(実験値)
・使用温度:-10~+150℃