液体材料気化供給システム（ファリバス/FALVS）
製品ニュース
掲載開始日:
2018-04-03 00:00:00.0
2017年度 第7回 ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞（製品・技術開発部門受賞）ファリバス 開発者7名受賞
2015年 第12回 超モノづくり部品大賞（奨励賞）受賞製品
2011年 第6回 モノづくり連携大賞（特別賞）受賞対象製品
フジキンの液体材料気化供給システム｢ファリバス｣の開発者7名（2017年度第7回ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞（受賞） [製品・技術開発部門]は、半導体の成膜工程において、原料である液体有機金属をヘリウム（以下 Heと記載します）などのキャリアガスを使わずに直接気化（ガス化）、圧力変動を精密にコントロールし、一定量をシリコンウエハー上に供給して薄膜を形成する世界初のシステムを開発。キャリアガスにより希釈する従来方式と比べ、生産性が大幅に向上（100%濃度での大流量供給、運用コスト低減、プロセス時間短縮、システム小型化）、ウエハーの大口径化や回路の高集積化等、次世代半導体の製造に貢献。
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