混合・分散を効率良くコンパクトに実現、 製造プロセスの未来に無限の可能性を秘めています。
配管に接続し、化学や食品、医薬品などの製造工程で気体や液体の混合・分散を効率よく行う部品です。また、半導体製造設備に設置すると、製造に使うガスを昇温させ、ウエハーを温めておくことが可能です。
配管に接続し、化学や食品、医薬品などの製造工程で気体や液体の混合・分散を効率よく行う部品です。また、半導体製造設備に設置すると、製造に使うガスを昇温させ、ウエハーを温めておくことが可能です。