<FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです。
<特長> 1.基本技術の高性能化。 2.小型化。 3.信頼性の向上。 4.施工性、メンテナンス性の向上。 5.標準化の推進。 6.コストダウン。
<特長> 1.基本技術の高性能化。 2.小型化。 3.信頼性の向上。 4.施工性、メンテナンス性の向上。 5.標準化の推進。 6.コストダウン。
企業ニュース
掲載開始日:
2018-12-14 00:00:00.0
第15回”超”モノづくり部品大賞
(主催:モノづくり日本会議様/日刊工業新聞社様)において、
フジキンの次世代半導体プロセス用ダイヤフラムバルブが
電気・電子部品賞を受賞しました。
本製品は半導体製造の前工程における成膜装置やエッチング装置に、
有機金属などのプロセスガスを
供給するガス供給システムで用いられます。
半導体の高集積化が進むにつれ、バルブも今まで以上の耐久性、
流量精度が求められます。ダイヤフラムの材質、
ダイヤフラムを保持・押下する周辺部品の形状材料と設計、
製法を新たにすることで、
次世代半導体プロセス用ダイヤフラムバルブの開発に成功しました。
関連リンク
- 次世代半導体プロセス用ダイヤフラムバルブ
2018年 第15回超モノづくり部品大賞
「電気・電子部品賞」受賞製品
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