システム【集積化ガスシステム】IGS(FS)

最終更新日: 2019-01-30 10:58:53.0

<FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです。

<特長>
1.基本技術の高性能化。
2.小型化。
3.信頼性の向上。
4.施工性、メンテナンス性の向上。
5.標準化の推進。
6.コストダウン。

基本情報

<IGSパネル完成の流れ>
1.IGS設計
2.部品選定・手配
3.ベースブロックの設定
4.上部機器取り付け
5.施工完了

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