圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を採用。
● 優れた特性
リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
● マニホールド対応
マニホールド配管が可能です。（フッ素ゴム製専用パッキン付属）
● 高精度
高精度の圧力制御が可能です。（感度0.1％F.S.、繰り返し再現性±0.1％F.S.）
● 長期圧力安定性
一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど変動しません。
クリーン仕様
● 部品構成はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。接ガス部は全て純水洗浄・無潤滑で組立しておりますので通過エアへ油分の混入がありません。
リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
● 優れた特性
リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
● マニホールド対応
マニホールド配管が可能です。（フッ素ゴム製専用パッキン付属）
● 高精度
高精度の圧力制御が可能です。（感度0.1％F.S.、繰り返し再現性±0.1％F.S.）
● 長期圧力安定性
一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど変動しません。
クリーン仕様
● 部品構成はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。接ガス部は全て純水洗浄・無潤滑で組立しておりますので通過エアへ油分の混入がありません。
リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
