● 高精度制御
高精度の真空度制御が可能です。(感度0.13kPa(1mmHg)、繰り返し再現性0.3kPa(2.2mmHg))
● 優れた圧力特性
1次圧変動に対して設定圧の変動1.3kPa(10mmHg)以内です。
● 大流量タイプ
大流量の用途にも対応できます。(流量270 l/min(normal)まで対応)
● 応答性良好
直動型のため、2次側の圧力変動に対して敏感に応答します。
高精度の真空度制御が可能です。(感度0.13kPa(1mmHg)、繰り返し再現性0.3kPa(2.2mmHg))
● 優れた圧力特性
1次圧変動に対して設定圧の変動1.3kPa(10mmHg)以内です。
● 大流量タイプ
大流量の用途にも対応できます。(流量270 l/min(normal)まで対応)
● 応答性良好
直動型のため、2次側の圧力変動に対して敏感に応答します。