最終更新日:
2024-04-15 11:52:49.0
高精度かつ優れた分解能、圧力特性に特化したエアレギュレータ
●独自構造により微細な圧力調整が簡単にできます。
●リリーフ感度が優れている為，高精度な圧力制御が可能です。
●外部信号による調圧に対応した機種も取り揃えております。
基本情報
圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を採用。
● 優れた特性
リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
● マニホールド対応
マニホールド配管が可能です。（フッ素ゴム製専用パッキン付属）
● 高精度
高精度の圧力制御が可能です。（感度0.1％F.S.、繰り返し再現性±0.1％F.S.）
● 長期圧力安定性
一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど変動しません。
クリーン仕様
● 部品構成はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。接ガス部は全て純水洗浄・無潤滑で組立しておりますので通過エアへ油分の混入がありません。
リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
| 価格情報 | 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | 半導体、FPD製造装置向け ● 自重キャンセル用エアシリンダの圧力制御 ● 精密押し圧制御用エアシリンダの圧力制御 ● 薬液タンクの圧力制御 ● 空気バネの圧力制御 |
詳細情報
クリーンルーム対応品。
部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
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