株式会社フジミインコーポレーテッド

『GLANZOX』

最終更新日: 2018-09-06 11:35:36.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

より高い平坦性、ダメージフリー、重金属汚染フリーなど完全鏡面の要求にお応え!
『GLANZOX』は、コロイダルシリカを特殊組成液に分散させ
優れた研磨面の実現を可能にしました。

近年、デバイス特性に影響する金属不純物についても厳しい低減要求が
なされています。これに対し超高純度コロイダルシリカを開発。

ウェーファー端面を鏡面に仕上げる専用のポリシング材
「GLANZOX Eシリーズ」などをご用意しております。

【特長】
■コロイダルシリカを特殊組成液に分散
■優れた研磨面の実現を可能に
■超高純度コロイダルシリカを開発
■次元の高いポリシング材をご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

シリコンウエハー用コロイダルシリカ研磨材『GLANZOX』
シリコンウエハー用コロイダルシリカ研磨材『GLANZOX』 製品画像
【その他の特長】
<GLANZOX Eシリーズ>
■ウェーファー端面を鏡面に仕上げる専用のポリシング材
■コロイダルシリカがベース
■特殊組成溶液に調製されている
■高能率で研磨後の洗浄性にも優れる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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