【測定方式】
<真空チャンバ法>
■ワーク内、チャンバ内真空引き(ワーク大漏れ確認)
■チャンバ内バックグランド確認
■ワーク内ヘリウムガス加圧
■検出(真空状態)
<大気圧チャンバ法>
■ワーク内真空引き(ワーク大漏れ確認)
■ワーク内ヘリウムガス加圧
■チャンバ内ヘリウムガス堆積
■検出(チャンバ内吸引)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
<真空チャンバ法>
■ワーク内、チャンバ内真空引き(ワーク大漏れ確認)
■チャンバ内バックグランド確認
■ワーク内ヘリウムガス加圧
■検出(真空状態)
<大気圧チャンバ法>
■ワーク内真空引き(ワーク大漏れ確認)
■ワーク内ヘリウムガス加圧
■チャンバ内ヘリウムガス堆積
■検出(チャンバ内吸引)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。