最終更新日:
2022-03-04 14:55:35.0
広い動作温度範囲！耐薬品性（腐食性ガス、ほとんどの溶剤など）に優れたセンサ
静電容量方式を採用した『ME550』は、60mbarという非常に低い
圧力の測定に適したセンサです。
高い耐圧を特長とし、半導体製造装置をはじめ、農業用計測装置や
気象用計測装置などのアプリケーションに好適。
Al2O3セラミックにより耐薬品性（腐食性ガス、ほとんどの溶剤、
酸など）に優れています。
【特長】
■静電容量方式を採用
■耐化学薬品性（耐酸性・耐アルカリ性）
■機械的堅牢性
■広い動作温度範囲
■超低圧測定：0～60mbar
※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】
■センサタイプ：フラッシュダイヤフラム 絶対圧（A) またはゲージ圧 (G)
■方式：静電容量式/比率
■重量（g）：≦20（セラミックセルのみ）
■応答時間（ms）：≦10
■動作温度（℃）：-40～+135（-40°F～+275°F）
■保存温度（℃）：-40～+150（-40°F～+302°F）
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|---|---|
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| 用途／実績例 | 【アプリケーション】 ■半導体製造装置 ■農業用計測装置 ■気象用計測装置 ■食品製造装置 ■医薬品製造装置 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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