最終更新日:
2023-09-26 09:59:25.0
超純水(UPW)の供給用バルブと流量計をご提案
超純水(UPW)は,半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。
ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され,最終工程で超純水によって再度洗浄されます。
その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。
このような製造工程中のウェハー表面を清浄に保つことが,発電効率を最大限に発揮することにつながります。
当社では,超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した,ダイアフラムバルブをご用意しております。
基本情報
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■UPWの供給 【実績例】 ■半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
詳細情報
PurePlusシリーズ
ハイピュリティ・ダイアフラムバルブ
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ハイピュリティ・フローメーター
PVDF製の面積式流量計
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