ゲミュージャパン株式会社

【高耐久/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

最終更新日: 2023-09-26 10:01:47.0
デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。
コンパクトかつ500万回以上の開閉にも耐えうる高い耐久性を持ちます。
流路がスムーズでデッドスペースが最小の構造です。

補助スプリングが内蔵されており、低温の環境下で樹脂が変形したとしても、補助スプリングがダイアフラムを押さえつけて、シール性を保ちます。

最高使用温度180℃の仕様でも製作できます。

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基本情報

・メンテナンスフリーのPVDF製ピストンアクチュエーター
・シールアジャスターとポジションインジケーターを標準装備

【サイズ】1/4" ~ 1-1/4"
【適用流体】腐食性・不活性の気体および液体
【流体温度】-10 ~ 180℃
【使用圧力】Max 0.6MPa
【周囲温度】Max 60℃
【本体材質】PTFE, PFA
【ダイアフラム材質】PTFE
【接続】フレア, ピラー, ナノリンク(Nanolink),プライムロック
【作動】手動, ノーマルクローズ、ノーマルオープン

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 GEMÜ iComLine C50/C51/C57
用途/実績例 ・LEDや集積回路製造での高純度ケミカルの供給輸送
・半導体製造のウェットプロセスにおけるケミカルサプライ
・化学物質の精密ドーシング
・排水処理システムの薬剤注入工程

詳細情報

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個別のアプリケーションに合わせて,柔軟にカスタマイズできます。

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