最終更新日:
2023-09-26 10:01:47.0
半導体ウェットプロセスの流量/背圧制御に好適！電動モーター搭載のオールフッ素樹脂製バルブ【CMPスラリーにも対応】
高精度ステッピングモーターを搭載したフッ素樹脂製電動コントロールバルブです。
DC24C(供給電源) + 4-20mA(アナログ信号)でバルブの開度を自在にコントロールして、流量制御/背圧制御が可能です。流路がスムーズである為、CMPスラリーなどの複雑な組成の流体にも好適です。
1l/min未満の小流量制御にも対応しています。
基本情報
【サイズ】1/4" ～ 1"
【適用流体】腐食性・不活性の気体および液体
【流体温度】10 ～ 150℃
【使用圧力】Max 0.6MPa
【周囲温度】Max 60℃
【本体材質】PFA,PTFE
【ダイアフラム材質】PTFE
【接続】フレア、ピラー
【供給電源】24 V DC
【入力信号】4 – 20 mA / 0 – 10 V
【作動スピード】 max. 2 mm/s
【ストローク】4 mm （開閉時間約2秒）
【標準流量範囲】 0~14l/min
※1l/min未満や20l/min以上の流量に関してはお問い合わせください
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ●洗浄装置などの流量制御 ●CMP装置内のスラリーの流量制御 ●システムの背圧制御 ●充填アプリケーションでの充填量の制御 ●ポンプの脈動コントロール |
詳細情報
内部構造図
制御事例
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