ゲミュージャパン株式会社

【薬液,純水用/Oリングフリー】フッ素樹脂製チャッキバルブ

最終更新日: 2023-09-26 10:01:47.0
薬液や純水ラインでの逆流防止に!接液部が全てPTFEなので様々な腐食性流体に対応しております。

半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁(チャックバルブ)です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。

基本情報

【サイズ】1/4" ~ 1
【適用流体】腐食性・不活性の気体および液体
【流体温度】0 ~ 130℃
【使用圧力】Max 0.6MPa
【クラッキング圧力】0.0017MPa - 0.0052Mpa
【バックチェックシーリング圧力】0.0017MPa - 0.0052Mpa
【周囲温度】Max 60℃
【本体材質】PTFE
【接続】フレア その他

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 GEMÜ CVFF
用途/実績例 ・LEDや集積回路製造での高純度ケミカルの逆流防止に
・その他、医薬/化学/食品のプロセス液の逆流防止へも

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