株式会社ハギテック

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半導体装置向け大口径PEEKチューブ

最終更新日: 2022-06-24 09:53:05.0
両端にはパーティクル混入防止用キャップを装着!機械強度に優れたPEEKチューブ

『半導体装置向け大口径PEEKチューブ』は、半導体洗浄装置の配管に
実績のある口径の大きい(外径3.18mm)PEEKチューブです。

機械強度に優れ、フッ素チューブとは段違いの高圧送液が可能。
時間あたり大量の洗浄液を送液することができます。

生産ラインに導入したオンライン測定器により、チューブの全長に渡って
常時寸法監視しています。

【特長】
■口径の大きい(外径3.18mm)PEEKチューブ
■厳しい基準を満たしている
■フッ素チューブとは段違いの高圧送液(20MPa以上)が可能
■時間あたり大量の洗浄液を送液することができる
■寸法NG箇所は自動的に排出されるため、寸法不良品をお届けしない

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【寸法】
■601-04-PEEK-3.18(1/8)×1.59(1/16)
・外径:3.18mm
・内径:1.59mm
・寸法公差:内外径±0.05mm
・定尺:10m
■601-04-PEEK-3.18(1/8)×2.10
・外径:3.18mm
・内径:2.10mm
・寸法公差:内外径±0.05mm
・定尺:10m

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納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■半導体装置

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