■スキャンコントロール
マイクロイオンビーム分析を行う際は、照射前にビームを絞る作業が入りますが、これまでこの作業には数時間の時間を要しており、
貴重なマシンタイムを消費していました。
そこで、本装置では金属メッシュをイオンビームで走査した際に放射される二次電子の収量曲線からビーム径を自動計算し、
その情報を四重極レンズに流す電流量にフィードバックさせるスキャンコントロールシステムを採用しています。
■ビーム自動集束システム(ソフトウェア)
四重極レンズに流す電流量を変化させると、四重極レンズ内部の空間の磁場強度が変化し、光学レンズでいう焦点距離を調節することが
出来ます。この自動集束システムによって、照射前のビーム調整作業時間が大幅に削減され、ビームの集束は1時間以内で行えるように
なりました。
■各種コントロールパラメータ
マイクロビームラインでは真空ポンプやマイクロスリット、ダイバージェンススリット、Qレンズ、ステージなどで構成されています。
自動集束システムではこれらの機構をソフトウェア上で全て制御することが可能です。
マイクロイオンビーム分析を行う際は、照射前にビームを絞る作業が入りますが、これまでこの作業には数時間の時間を要しており、
貴重なマシンタイムを消費していました。
そこで、本装置では金属メッシュをイオンビームで走査した際に放射される二次電子の収量曲線からビーム径を自動計算し、
その情報を四重極レンズに流す電流量にフィードバックさせるスキャンコントロールシステムを採用しています。
■ビーム自動集束システム(ソフトウェア)
四重極レンズに流す電流量を変化させると、四重極レンズ内部の空間の磁場強度が変化し、光学レンズでいう焦点距離を調節することが
出来ます。この自動集束システムによって、照射前のビーム調整作業時間が大幅に削減され、ビームの集束は1時間以内で行えるように
なりました。
■各種コントロールパラメータ
マイクロビームラインでは真空ポンプやマイクロスリット、ダイバージェンススリット、Qレンズ、ステージなどで構成されています。
自動集束システムではこれらの機構をソフトウェア上で全て制御することが可能です。
