伯東株式会社

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Denton社 半導体物理解析用 Ion Beam Delayering装置

最終更新日: 2022-09-30 16:51:21.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析
Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析 製品画像
マイクロエレクトロニクス市場では、より高性能で高密度の半導体を求める動きがあり、最近の設計では層厚を薄くし層内の構造をコンパクトにしています。しかし、このようなチップに従来の加工技術を適用することは手間とコストがかかる上に、エラーが発生しやすくなります。

機械的な試料作成が困難なため、デバイスの遅延処理アプリケーションにはビームベースの技術が出現しています。Ion Beam Delayering(イオンビームディレイヤイング)では、大面積の試料作製が可能であり、正確かつ制御された物理解析の処理プロセスを実現することができます。

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