*ターボ分子ポンプHiPaceシリーズ

最終更新日: 2022-04-18 09:58:41.0

圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能

高真空 (< 1x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。

•使用環境に合わせて仕様選択可能
•ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。)
省設置スペース、省ケーブル、省コスト
•ドライブ回路切離しタイプ
設置環境、設置スペースの自在性
•アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ)
面倒な配線作業などが不要
•ワールドワイドサービス
日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

関連リンク

基本情報

ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※ 型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください
型番・ブランド名	ファイファーバキューム社製HeptaDryシリーズ
用途／実績例	【用途】分析装置半導体装置加速器その他

ラインナップ

型番	概要
HiPace10	•排気速度 N2：10 l/s、H2：3.7 l/s •到達真空度：<5.0×10-3 Pa　※ベーキングなし •口径：25KF/NW25
HiPace30	•排気速度 N2：22~32 l/s、H2：19~20 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：40KF/NW40, 63ISO-K, 63CF/ICF114
HiPace80	•排気速度 N2：35~67 l/s、H2：38~48 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：40KF/NW40, 63ISO-K, 63CF/ICF114
HiPace300	•排気速度 N2：260~370 l/s、H2：220~460 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F
HiPace300H	•Hモデルは、高圧縮比モデル •排気速度 N2：260~370 l/s、H2：220~460 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F
HiPace300P	•Pモデルは、粉塵等が発生するプロセスに対応 •排気速度 N2：245 l/s、H2：125 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F
HiPace300M	•Mモデルは、五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ •排気速度 N2：255 l/s •到達真空度：<5.0×10-8 Pa •口径：100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F
HiPace400	•排気速度 N2：260~370 l/s、H2：220~460 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F
HiPace400P	•Pモデルは、粉塵等が発生するプロセスに対応 •排気速度 N2：350 l/s、H2：225 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F
HiPace700	•排気速度 N2：685 l/s、H2：555 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：160 ISO-K, 160CF-F/ICF203, 160 ISO-F
HiPace700H	•Hモデルは、高圧縮比モデル •排気速度 N2：685 l/s、H2：555 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：160 ISO-K, 160CF-F/ICF203, 160 ISO-F
HiPace700P	•Pモデルは、粉塵等が発生するプロセスに対応 •排気速度 N2：670 l/s、H2：275 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：160 ISO-K, 160CF/ICF203, 160 ISO-F
HiPace700M	•Mモデルは、五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ •排気速度 N2：685 l/s •到達真空度：<5.0×10-8 Pa •口径：160 ISO-K, 160CF-F/ICF203, 160 ISO-F
HiPace800	•排気速度 N2：790 l/s、H2：580 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：200 ISO-K, 200CF/ICF253, 200 ISO-F
HiPace800P	•Pモデルは、粉塵等が発生するプロセスに対応 •排気速度 N2：785 l/s、H2：320 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：200 ISO-K, 200CF/ICF253, 200 ISO-F
HiPace800M	•Mモデルは、五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ •排気速度 N2：790 l/s •到達真空度：<5.0×10-8 Pa •口径：200 ISO-K, 200CF/ICF253, 200 ISO-F
HiPace1200	•排気速度 N2：1250 l/s、H2：1100 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：200ISO-K, 200CF/ICF253, 200ISO-F
HiPace1200C	•Cモデルは、耐腐食性モデル •排気速度 N2：1250 l/s、H2：1100 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：200ISO-K, 200CF/ICF253, 200ISO-F
HiPace1500	•排気速度 N2：1400 l/s、H2：1150 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：250ISO-K, 250CF/ICF303, 250ISO-F
HiPace1500C	•Cモデルは、耐腐食性モデル •排気速度 N2：1400 l/s、H2：1150 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：250ISO-K, 250CF/ICF303, 250ISO-F
HiPace1800	•排気速度 N2：1450 l/s、H2：1700 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：200ISO-K, 200ISO-F
HiPace1800C	•Cモデルは、耐腐食性モデル •排気速度 N2：1450 l/s、H2：1700 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：200ISO-K, 200CF/ICF253, 200ISO-F
HiPace2300	•排気速度 N2：1900 l/s、H2：1850 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：250ISO-K, 250CF/ICF303, 250ISO-F
HiPace2300C	•Cモデルは、耐腐食性モデル •排気速度 N2：1900 l/s、H2：1850 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •口径：250ISO-K, 250CF/ICF303, 250ISO-F

詳細情報

•複合型ターボ分子ポンプ
•業界トップクラスの排気速度、圧縮比、許容ガス流量
•取り付け姿勢自由
•各種規格に対応：RoHS、CE、UL(1部)、Semi
•防塵、防水規格IP54適合

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