*ターボ分子ポンプ排気システムHiCubeシリーズ

最終更新日: 2022-04-18 10:06:36.0

ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動

•大学・官公庁等の研究機関で圧倒的な実績
•業界トップレベルの基本性能 → 圧縮比、到達真空度、ガス流量など
•ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動
•付属コントローラーにて、ファイファーバキューム社製真空計モニタリング可能
•アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) → 面倒な配線作業などが不要
•ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
•ユニットからターボ分子ポンプの切り離しが可能（オプション） ⇒ 真空引き時間の短縮

関連リンク

基本情報

ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※ 型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください
型番・ブランド名	ファイファーバキューム社製HiCubeシリーズ
用途／実績例	【用途】クライオスタッド加速器・放射光施設分析装置（プローバー、試料精製等）各種真空装置（真空炉、ガス置換等）

ラインナップ

型番	概要
HiCube30 Eco	•排気速度 N2：22~32 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63ISO-K, 63CF(ICF114)
HiCube80 Eco	•排気速度 N2：35~67 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <1.0×10-6 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63ISO-K, 63CF(ICF114)
HiCube80 Classic	•排気速度 N2：35~67 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63 ISO-K, 63CF(ICF114)
HiCube80 Pro	•排気速度 N2：35~67 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63ISO-K, 63CF(ICF114)
HiCube300 Eco	•排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100 ISO-K, 100CF(ICF152)
HiCube300 Classic	•排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152)
HiCube300 Pro	•排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152)
HiCube300H Eco	•排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <1.0×10-6 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100 ISO-K, 100CF(ICF152)
HiCube300H Classic	•排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ < 1.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152)
HiCube300H Pro	•排気速度 N2：22~32 l/s、H2：19~20 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63ISO-K, 63CF/ICF114
HiCube400 Classic	•排気速度 N2：355 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152)
HiCube400 Pro	•排気速度 N2：355 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152)
HiCube700 Classic	•排気速度 N2：685 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：160 ISO-K, 160CF(ICF203)
HiCube700 Pro	•排気速度 N2：685 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：160 ISO-K, 160CF(ICF203)
HiCube700H Classic	•排気速度 N2：685 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ < 1.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：160 ISO-K, 160CF(ICF203)
HiCube700H Pro	•排気速度 N2：685 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ < 1.0×10-8 Pa　※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：160 ISO-K, 160CF(ICF203)

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