真空を作る上で、一番の懸念事項であるリーク(漏れ)をチェックする際に用いる機器です。
リークテスターとも呼ばれます。
測定の際には一般的に、下記の理由により、トレーサーにヘリウムが最適とされています。
•軽い → 拡散しやすい
•分子が小さい → 極めて小さい孔へも浸入可能
•化学的に安定 → 製品を汚染せず、人体に対して無害
•大気中にほとんど存在しない → 測定器の誤検知を防ぐ
•ワールドワイドサービス ⇒ 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
•豊富なラインナップ ⇒ 用途に合わせて最適な機種を選択可能
基本情報
ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 |
お問い合わせください
※ 型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください |
型番・ブランド名 | ファイファーバキューム社製ASMシリーズ |
用途/実績例 | 【用途】 •自動車産業 •空調、冷媒 •半導体産業 •各種真空装置 |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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ASM310 | •フィールドサービスに最適なポータブルモデル •真空法/スニファー法 両モードに対応 •ヘリウム排気速度:1.1 l/s •最小検知可能リークレート (真空法):5E-13 Pa・m3/s •最小検知可能リークレート (スニファー法):1E-8 Pa・m3/s •測定可能ガス:4He, 3He, H2 •重量:21 kg |
ASM306S | •スニファー専用モデル •スニファープローブにLEDで合否結果を明確に表示 •流量:300 sccm •最小検知可能リークレート (スニファー法):1E-8 Pa・m3/s •測定可能ガス:4He, 3He, H2 •重量:22 kg |
ASM340 | •多目的モデル •クラス最短のテスト開始時間を実現 ⇒ 15m3/h粗引きポンプ内蔵 •真空法/スニファー法 両モードに対応 •ヘリウム排気速度:2.5 l/s •最小検知可能リークレート (真空法):5E-13 Pa・m3/s •最小検知可能リークレート (スニファー法):5E-10 Pa・m3/s •測定可能ガス:4He, 3He, H2 •重量:32~56 kg |
ASM39x | •高性能可搬型モデル •高速リカバリータイム ⇒ ヘリウム排気速度 25 l/s •真空法/スニファー法 両モードに対応 •ヘリウム排気速度:10~25 l/s •最小検知可能リークレート (真空法):1E-13 Pa・m3/s •最小検知可能リークレート (スニファー法):1E-9 Pa・m3/s •測定可能ガス:4He, 3He, H2 •重量:125~130 kg |
ASI35 | •モジュールモデル •簡単取付、簡単操作 ⇒ リークディテクションシステムに最適 •真空法/スニファー法 両モードに対応 •ヘリウム排気速度:1.8~6.0 l/s •最小検知可能リークレート (真空法):3.5E-9 ~ 5E-13 Pa・m3/s •最小検知可能リークレート (スニファー法):1.5E-9 Pa・m3/s •測定可能ガス:4He, 3He, H2 |
詳細情報
•フィールドサービスに最適 ⇒ 軽量でポータブルな設計 21kg
•SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
•日本語ガイダンス機能
•取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
•真空法/スニファー法 両モードに対応(ボタン操作で簡単切替)
•粗引きポンプ ドライポンプ内蔵(約30L/min)
•世界中で使用可能 ⇒ ユニバーサル電圧対応 90~240V(単相)
•300sccm大流量スニファー
•22kgのポータブルモデル
•簡単操作
•自動校正機能付き
•スニファープローブにLEDで合否結果を明確に表示
•スニファー先端にLEDライト付き
•クラス最短のテスト開始時間を実現 ⇒ 15m3/h粗引きポンプ内蔵 ※1
•テスト開始時間の短縮 ⇒ テスト開始可能ポート圧力 2,500Pa
•日本語ガイダンス機能
•取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
•真空法/スニファー法 両モードに対応 ⇒ ボタン操作で簡単切替
•SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
•ワイヤレスリモコンにより最大で100m離れた場所から操作可能(オプション)
•粗引きポンプ非搭載型 ASM340I ⇒ 粗引きポンプの選択が可能
※1 ASM340(粗引きポンプ:油回転ポンプ)の場合
•高速リカバリータイム ⇒ ヘリウム排気速度 25 l/s
•粗引きポンプ 多段ルーツ型ドライポンプ 35m3/h内蔵
⇒ 大型チャンバーに対して真空引き時間の短縮を実現
⇒ パーティクルフリー
⇒ ロングメンテナンスサイクル
•日本語ガイダンス機能
•取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
•真空法/スニファー法 両モードに対応 ⇒ ボタン操作で簡単切替
•SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
•簡単取付、簡単操作 ⇒ リークディテクションシステムに最適
•I/Oインターフェース(D-Sub37ピン)
•世界中で使用可能 ⇒ ユニバーサル電圧対応 90V~240VAC(単相)
•真空法/スニファー法 両モードに対応 ⇒ ボタン操作で簡単切替
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