*真空計（アクティブライン）

最終更新日: 2022-04-18 10:05:40.0

•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

真空 (圧力) の程度を計測する計測器です。全圧真空計と分圧真空計に別けられますが、ここでは全圧真空計を取り扱います。全圧真空計は、下記 2 種類に大別されます。

A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式

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基本情報

ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※ 型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください
型番・ブランド名	ファイファーバキューム社製真空計／アクティブライン
用途／実績例	【用途】 •分析装置 •半導体装置 •加速器 •核融合装置 •その他

ラインナップ

型番	概要
APR250	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：16KF(NW16) •測定領域：上限1.1E5 Pa、下限10 Pa •最大許容圧力：3 Pa
APR260	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：16CF(ICF34) •測定領域：上限1.1E5 Pa、下限10 Pa •最大許容圧力：3 Pa
APR262	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：G1/4
APR265	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：G1/4
APR266	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：G1/4
APR267	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •ピエゾゲージ •フランジ：G1/4
CMR361	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
CMR362	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
CMR363	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
CMR364	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
CMR365	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
CMR371	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ　温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
CMR372	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ　温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
CMR373	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ　温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
CMR374	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ　温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
CMR375	•ガス種に依存しない、力学的な計測方式 •セラミックキャパシタンスゲージ　温度（45℃補正） •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34), 1/2
TPR280	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニーゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1E5 Pa、下限5E-2 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa
TPR281	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •耐腐食性ピラニーゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1E5 Pa、下限5E-2 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa
TPR270	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニーゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1E5 Pa、下限1E-2 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa
TPR271	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •耐腐食性ピラニーゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1E5 Pa、下限5E-2 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa
PCR280	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニ&キャパシタンスコンビネーションゲージ •フランジ：16KF(NW16), 16CF(ICF34) •測定領域：上限1.5E5 Pa、下限5E-3 Pa •最大許容圧力：5E5 Pa
IKR360	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •コールドカソードゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1 Pa、下限1E-7 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa
IKR361	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •コールドカソードゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1 Pa、下限1E-7 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa
IKR270	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •コールドカソードゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1 Pa、下限5E-9 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa
PKR360	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニ&コールドカソードコンビネーションゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1E5 Pa、下限1E-7 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa
PKR361	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニ&コールドカソードコンビネーションゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1E5 Pa、下限1E-7 Pa •最大許容圧力：1E6 Pa
IMR265	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •プロセスイオンゲージ •フランジ：16KF(NW16), 25KF(NW25), 40KF(NW40), 16CF(ICF34), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1.5E5 Pa、下限2E-4 Pa •最大許容圧力：5E5 Pa
PBR260	•ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 •ピラニ&ホットカソードコンビネーションゲージ •フランジ：25KF(NW25), 40KF(NW40), 40CF(ICF70) •測定領域：上限1E5 Pa、下限5E-8 Pa •最大許容圧力：2E6 Pa
TPG361	•アクティブライン用共通コントローラー •シングルゲージコントローラー •接続可能数：1 •リレー個数：2
TPG362	•アクティブライン用共通コントローラー •デュアルゲージコントローラー •接続可能数：2 •リレー個数：4 •真空度表示形式：同時表示可
TPG366	•アクティブライン用共通コントローラー •マキシゲージコントローラー •接続可能数：6 •リレー個数：6 •真空度表示形式：6ch同時表示可

詳細情報

アクティブライン
•エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
•ノイズに強い多機能アナログ出力 → 測定信号、エラー信号など判別可能
•ゲージコネクター形状の統一 → 複数コントローラー不要
•ゲージ自動認識 (プラグアンドプレイ) → 複数 (最大6ch) のゲージを1台のコントローラーに接続可能

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