最終更新日:
2022-04-18 10:03:17.0
解析波長190nm(DUV)~3,500nm(NIR)、ユーザー要求に応じた波長で膜厚と光学定数の解析が行えます。
回転検光子(偏光検出)の駆動に独自の方式を採用した分光エリプソメーターです。膜厚及び光学定数(屈折率、消衰係数)の同時解析ソフトウェアを独自開発し、長年ご利用いただいているユーザーからの要望を取りれた改版を重ね、第4版となっています。このソフトウェアは解析に便利な[対話モード]と繰り返し測定に適した[レシピモード]があります。また、膜厚の均一性評価に役立つ膜厚分布の自動測定も行えます。
基本情報
ドイツ（ベルリン）に1990年に設立された会社です。自社開発したプラズマ応用装置と分光エリプソメータ等のメトロロジー装置を全世界に販売をしています。
2010年には自社ビルを竣工し、ISO9001認証を取得しています。
ユーザーの品質向上にお役立ていただくため、基本性能が堅牢で高品質な製品を製造し、全世界のユーザーにご満足いただけるサポートを提供しています。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 - 透明薄膜の膜厚、光学定数（屈折率、消衰係数）の非破壊解析 - 透明膜の膜厚、光学定数の品質管理、面内均一性の管理 |
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