最終更新日:
2022-04-18 10:02:17.0
MBEセル（蒸着源、分子線セル）はエピタキシャル膜の品質において重要です。実績豊富なRIBER社製MBEセルを紹介します。
分子線を作り出すMBEセルは、エピタキシャル膜の品質（均一性・組成・純度・モフォロジーなど）を左右する最も重要なコンポーネントです。RIBER社では、材料特性や用途に合わせて豊富なラインナップを用意しています。RIBERオリジナル装置のみならず、ありとあらゆるMBE装置の仕様に合わせてカスタマイズ提案が可能です。
・標準型クヌーセンセル
・ヒ素、リン、アンチモン向けバルブドクラッカーセル
・大容量・高安定性ガリウム、インジウムセル
・窒化物向け高耐性エフュージョンセル
・特殊用途セル（高温セル、昇華型カーボンセル）
・窒素、酸素RFプラズマ源
・高温・低温ガスインジェクター
基本情報
RIBER社（フランス）は、1964年に設立された分子線エピタキシャル成長装置（MBE装置）およびコンポーネント（MBEセル・蒸着源）を製造・販売する世界シェアNo.1のサプライヤーです。これまで主にGaAsやInP、GaN等の化合物半導体材料の成膜用途として累計約800台の装置を世に送り出してきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE装置を運用しており、データ通信、5G/6G、VCSELレーザー、フォトニクス、センサー、3Dセンシングなど様々な最先端分野の研究または生産ツールとして貢献しています。
日本国内では、伯東株式会社が総代理店として、同社製品の販売と保守サービスを提供しております。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 赤外センサー、磁気センサー、量子ドットレーザーなどのデバイス開発。スピントロニクスや酸化物半導体など基礎研究。 |
お問い合わせ
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