最終更新日:
2024-06-21 15:06:49.0
「優れた測定精度」、「高い堅牢性」を兼ね備えた真空計
スピニングローターゲージ(SRG)システムは、測定ヘッド、制御/読み出しユニット、圧力センサーとして機能する4.5mmボールベアリングボールを含むステンレススチール製測定管で構成されています。
測定ヘッドには、浮上、振動減衰、加速、センサーボールの速度感知に必要な磁石とコイルシステムが含まれており、温度センサーも搭載されています。
測定管の一端は密閉されており、他端は溶接またはフランジ接続によって真空チャンバーに取り付けます。センサーは、外部への機械的または電気的なフィードスルーを必要としません。
測定には、センサーボールを磁場によって浮上させ、600 rps以上の速度まで加速、その後惰性で回転、測定管内の入射ガス分子からの接線方向の運動量移動による抗力(分子抗力)を受けることによるセンサーボールの減速率を利用します。
基本情報
ph-instrumentsは、卓越したスピニングローターゲージ技術に基づいた、費用対効果の高い高真空圧力計を開発、製造、販売しています。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | ph-instruments社製スピニングローター真空計シリーズ |
用途/実績例 | ・標準校正 ・真空成膜(半導体/光学) ・真空断熱(冷凍技術・液化ガス・超電導) ・フリーズドライ ・その他 |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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DosiTorr ~スピニングローターゲージ~ | ・電子イオン化イオン源搭載型 ・コンパクトな高速・高感度質量分析計 ・磨耗がなく、室温で作動し、極めて長期的な安定性を有する ・プロセスの妨げとなるイオン、プラズマ、熱(熱電対/ピラニ)、粒子など一切発生しません ・インコネルやセラミック膜のような、変形する可能性のある機械的応力のかかる部品はありません |
VIM-2 ~スピニングローターゲージ/コントローラ付き~ | ・モバイル式のバッテリー駆動 ・遠隔操作(Bluetooth経由のアプリ)が可能 ・極低温、真空断熱の液体ガスタンクの測定に最適 ・電気的なフィードスルーは不要 ・非常に堅牢で経年劣化に強い全金属製センサー |
IONCheck ~イオンゲージの校正および比較システム~ | ・高真空ゲージの校正と比較のための完全なソリューション ・認定された正確で長期安定した圧力標準として使用 ・凍結乾燥プロセスのリアルタイム測定 |
詳細情報
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