最終更新日:
2020-11-03 10:03:55.0
取付けが容易な高精度インクリメンタルリニアエンコーダ
■特長
・高精度と高い繰り返し性
・省スペースタイプの走査ヘッドとスケール
・PRECIMET接着テープにより取付けが簡単
・リミットスイッチとホーミング機能
・ステータスLED搭載
■仕様
・信号周期: 4μm
・精度等級: ±1μm、±3μm
・推奨分解能: ~2nm
・測定長: 最長1640mm
・インターフェース: 1Vpp、TTL
基本情報
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価格帯 | お問い合わせください |
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型番・ブランド名 | LIF 400シリーズ |
用途/実績例 | 半導体後工程用製造装置、各種計測装置 |
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