半導体製造装置のウェハーを掴む静電チャックへの高電圧印加用端子としてご使用いただいております。
使用電圧3KV、耐電圧6KVの製品です。半導体製造装置の静電チャック部に使用されています。
要求仕様を伺い、ご提案いたします。
※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。
要求仕様に合わせ、最適な材料を選定し、設計、製作いたします。
| 価格情報 | 数量により価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
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| 納期 |
お問い合わせください
※ 数量により納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | 静電チャック給電用の高電圧接続端子 |
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株式会社ヒサワ技研
