ハイウィン株式会社

【ウエハ搬送ロボット】カタログ

最終更新日: 2020/03/11

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

高精度/高剛性の自社製DDモータを採用したウエハ搬送ロボット【RWシリーズ】カタログです。
2-12インチウエハに対応し、繰返し位置決め精度は±0.02mmでタクトタイム短縮が期待できるスペックです。ギアナ市で経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。
高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

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